微型氣體質(zhì)量流量控制器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)的。該系列 的傳感器均采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，結(jié)合數(shù)字信號(hào)處 理技術(shù)和流量控制算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)各類氣體流量大小的精準(zhǔn)控制和智能化處理。